ディスペンサ(液剤塗布装置)とは

Dispenser

最終更新:2026-10-04・アンダーフィル装置・パッケージング装置|用語集のExcel・PDF版をダウンロード

ディスペンサ(液剤塗布装置)とは?

ディスペンサとは、接着剤や樹脂、はんだペーストなどの液状材料を、決まった量だけ決まった場所に吐出して塗布する装置です。半導体の後工程ではアンダーフィル樹脂やダイボンディング用のペーストの塗布に使われます。エア式・スクリュー式・容積計量式・非接触のジェット式があり、材料の粘度と必要な精度・速さで選びます。

定義・解説

ディスペンサ(Dispenser)とは、接着剤や樹脂、はんだペーストなどの液状の材料を、決まった量だけ決まった場所に吐出して塗布する装置です。半導体の後工程では、フリップチップのチップと基板の隙間を埋めるアンダーフィル樹脂、チップを基板に貼り付けるダイボンディング用のペースト、部品を覆う封止材など、液状の材料を扱う多くの工程で使われます。

ディスペンサには、吐出の方式によっていくつかの種類があります。(1)エア式(時間・圧力式):シリンジに圧縮空気をかけ、その時間で量を決める最も基本的な方式です。(2)スクリュー(オーガ)式:ねじの回転で材料を押し出し、粘度の高い材料でも量を安定させます。(3)容積計量式:ピストンなどで決まった体積を押し出し、高い精度で量を管理します。(4)ジェット式:ノズルを基板に近づけずに、材料を高速で飛ばして打ち出す非接触の方式で、細かい場所に速く塗れます。材料の粘度、必要な量と精度、速さに応じて方式を選びます。

アンダーフィルの塗布では、チップの縁に沿って樹脂を吐出すると、毛細管現象で樹脂がチップの下の狭い隙間に流れ込みます。ボイドを残さず、はみ出しを抑えるため、吐出の量・位置・経路と、基板の温度を細かく制御します。精密な塗布では、温度による粘度の変化や、時間とともに材料が硬化する可使時間の管理も重要です。前工程でも、コーター/デベロッパでレジストや薬液をウェハに吐出するノズル部分をディスペンスユニットと呼びます。

よくある質問(FAQ)

ディスペンサの吐出方式にはどんな種類がありますか?▾
圧縮空気をかける時間で量を決めるエア式、ねじの回転で押し出すスクリュー式、決まった体積を押し出す容積計量式、材料を高速で飛ばして打ち出す非接触のジェット式があります。粘度が高い材料や高い精度が必要な場合はスクリュー式や容積計量式、速さが必要な場合はジェット式が使われます。
アンダーフィルはどうやって塗布しますか?▾
ディスペンサでチップの縁に沿って液状の樹脂を吐出すると、毛細管現象で樹脂がチップと基板の狭い隙間に流れ込みます。ボイドを残さないよう、吐出の量・位置・経路と基板の温度を制御し、流れ込んだ後に加熱して硬化させます。

設備の製造メーカー

武蔵エンジニアリング日本

ディスペンサ(液体精密制御装置)の総合メーカー。微小量の吐出制御を強みに、ノズル・バルブから全自動塗布装置まで…

Nordson米国

精密ディスペンシング・封止・接合・検査装置の総合メーカー。半導体後工程のフラックス塗布、ポッティング、AOI検…

関連カテゴリ

関連用語

同じトピックの用語

先端パッケージング・パッケージング のトピックで関連する用語です。

同じトピックの企業

BesiオランダDISCO日本Kulicke & Soffa米国EV GroupオーストリアASMPT香港Suss MicroTecドイツ

比較・違いを学ぶ

CoWoSとInFOの違い(TSMC先進パッケージング比較)
CoWoSとInFOは、いずれもTSMCが提供する先進パッケージング技術です。CoWoSはシリコンインターポーザーを介して複数チップを横に並べ高密度接続する2.…
→
TSVとワイヤーボンドの違い|接続密度・帯域幅・コストを比較
TSV(Through Silicon Via、シリコン貫通電極)とワイヤーボンディングはともに半導体チップと外部を電気接続する後工程技術ですが、接続方式・密度…
→
HBM2EとHBM3の違い(世代別スペック比較)
HBM(High Bandwidth Memory)はDRAMを縦に積層しTSV(Through-Silicon Via)で接続した超高帯域メモリです。AI学習…
→
ハイブリッドボンディングとフリップチップボンディングの違い
どちらもダイとダイ、またはダイと基板を電気的に接続する実装技術ですが、接合メカニズムと達成できる接続密度が根本的に異なります。フリップチップははんだバンプ(直径…
→
2.5Dパッケージングと3D ICパッケージングの違い
ムーアの法則の鈍化に伴い、異なる機能のチップを高密度で組み合わせる「先進パッケージング」が半導体の性能向上の主戦場になっています。2.5D実装(CoWoS・In…
→
トランスファーモールドとコンプレッションモールドの違い
半導体パッケージの封止(モールド)工程には、金型内にEMC(エポキシモールドコンパウンド)を注入するトランスファーモールドと、金型内にEMCを直接充填・加圧する…
→
← 用語集に戻る用語集をExcel・PDFで使う →