最後更新:2026年10月23日電鍍設備(電解銅電鍍)

Ultra ECP map的特點與規格

盛美半導體(ACM Research)・電鍍設備(電解銅電鍍)

適用前段製程雙鑲嵌的 Cu 電鍍設備。具備獨家的多陽極局部電鍍(MAP)功能。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

Ultra ECP map 是盛美半導體(ACM Research)適用前段製程的電解電鍍設備。主要用途為雙鑲嵌結構的銅電鍍,支援 55nm/40nm/28nm/14nm 以下的技術節點,也可應用於一般的銅電鍍用途。

適用 300mm 晶圓,最多搭載 3 個裝載埠、最多 4 個配備局部脈衝電鍍系統的電鍍腔體、最多 4 個清洗腔體與最多 8 個退火腔體。電鍍均勻性在晶圓內・晶圓間皆小於 1.5%。

以 ACM 獨家的多陽極局部電鍍(Multi-Anode Partial Plating)功能,實現對雙鑲嵌結構優異的銅沉積,也支援極薄晶種層。以多區陽極、橡膠密封電鍍夾頭、局部脈衝電鍍相關的多項專利為後盾,特點是耗材成本與持有成本低。

主要規格

電鍍方式電解電鍍(多陽極局部電鍍)
適用晶圓尺寸300 mm
特點支援極薄晶種層・局部脈衝電鍍(電鍍均勻性小於 1.5%)
主要用途55/40/28/14 nm 以下的雙鑲嵌 Cu 導線

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

多陽極局部電鍍・局部脈衝電鍍
電鍍均勻性小於 1.5%(晶圓內・晶圓間)
最多搭載電鍍 4/清洗 4/退火 8 個腔體
支援極薄晶種層

主要用途

  • 雙鑲嵌 Cu 導線(55~14nm 以下)
  • 一般銅電鍍

製造商

盛美半導體(ACM Research)(總部:美國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 盛美半導體(ACM Research)官方產品頁面:ACM Research Ultra ECP map