最後更新:2026年10月23日電鍍設備(電解銅電鍍)

SABRE 3D的特點與規格

科林研發(Lam Research)・電鍍設備(電解銅電鍍)

將前段製程技術延伸至先進封裝的電解電鍍設備。以模組化配置支援多樣的 WLP 製程。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

SABRE 3D 是科林研發(Lam Research)用於先進封裝的電解電鍍設備。用於形成晶圓級封裝(WLP)與 TSV 結構電性連接的銅等金屬電鍍。在實績豐富的 SABRE Electrofill 技術上加入了更多創新。

WLP・TSV 的電鍍與 BEOL 的鑲嵌填充相似,但沉積量並非埃(Å)而是微米等級,大了好幾個數量級,需要長時間沉積與多段處理。在高電鍍速率下的晶圓面內均勻性與晶粒內共面度、低成本、低缺陷,以及無空洞的微凸塊與焊料接合都是課題。

以改良型電鍍槽技術在不犧牲晶粒內・晶圓面內均勻性的情況下提高電鍍速率,並以組合多個電鍍槽與前後處理槽的模組化配置支援各種封裝用途。也具備大幅降低 SnAg 電鍍液成本的技術。產品為 SABRE 3D 與 SABRE 3D xT。

主要規格

電鍍方式電解電鍍(蚌殼式・密封乾式接點)
特點組合電鍍槽與前後處理槽的模組化配置、降低 SnAg 藥液成本
主要用途TSV・RDL・Cu 柱・微凸塊

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

高速電鍍下仍維持晶粒內・面內均勻性
組合電鍍槽・前後處理槽的模組化配置
降低 SnAg 藥液成本
SABRE 3D/SABRE 3D xT

主要用途

  • TSV・Cu 柱・重布線層(RDL)・UBM
  • C4 凸塊、Cu/SnAg・Ni/Au 微凸塊
  • 高密度扇出型(HDFO)

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹):1996 年成立的台灣技術訓練中心
  • Lam Research Manufacturing(桃園市中壢區):2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
  • 台南據點(台南):支援南部客戶的辦公室與訓練教室

所屬設備分類

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資料來源

  1. 科林研發(Lam Research)官方產品頁面:Lam Research SABRE 3D Product Family