Raider ECD的特點與規格

Raider ECD 是應用材料（Applied Materials）的電解電鍍（ECD：電化學沉積）系統。以單晶圓・全自動・多腔體的方式電鍍 150mm～300mm 的晶圓，以小占地面積獲得高產能。

在 300mm 晶圓的電鍍中，使用可動態改變電流密度的改良型反應槽，實現高均勻性。透過多區陽極陣列，也能在極薄且電阻高的晶種層上電鍍。

以離子交換膜延長藥液壽命，並以「免教導（no-teach）」的精密自動化消除因傳送重新教導造成的停機時間，壓低營運成本。是用於形成銅導線的代表性 ECD 設備。