Nokota VMax 2 ECD的特點與規格

Nokota VMax 2 是應用材料（Applied Materials）用於先進封裝的電解電鍍（ECD）設備。在 HBM、凸塊、RDL、巨型銅柱（mega pillar）、TSV 等用途中，目標是兼顧生產力與良率、稼動率與成本。

元件結構越複雜、晶圓越薄，電鍍就越需要嚴格的高度一致性（共面度）、高處理量、多金屬整合、缺陷管理，以及因應有限的安裝空間。

以 20 腔體配置、僅接觸晶圓 1 次的 SafeSeal 傳送與 VMax 腔體技術，提升易碎晶圓的良率，增加運轉時間與產量。