SABRE 是科林研發(Lam Research)的電解電鍍(ECD)產品系列。為引領業界轉向銅導線的產品,在高生產力平台上提供銅鑲嵌製造所需的精度。
在銅導線中,即使是針孔或微小異物等些微缺陷,也會導致速度下降或故障。先進導線具有細且複雜的膜層堆疊,阻障層/晶種層很薄,線寬也越來越窄。需要寬廣的製程窗口,以填充即使在同 1 層中深寬比與晶種附著狀況也差異很大的結構。
SABRE 的特點為高產能且無空洞的填充、最快速的由下而上成長、可在各種襯層(liner)材料上直接沉積銅、電鍍開始時的晶種層保護,以及業界領先的邊緣排除區縮小。有 SABRE Extreme、Max、Excel、F Series。