艾司摩爾(ASML)
全球唯一的 EUV 曝光機供應商,總部位於荷蘭。台灣總部設於新竹,並在林口、台中、台南設有客戶支援據點,在新北市林口興建在台最大的投資案。
ASML Holding・半導體設備・最後更新:2026年10月13日
公司概要
ASML 生產半導體微影製程使用的曝光機,包括極紫外光(EUV)與深紫外光(DUV)曝光系統,以及量測設備與運算微影軟體。先進製程所需的 EUV 曝光機目前只有 ASML 能供應。
台灣總部辦公室 2003 年成立於新竹,並在林口、新竹、台中、台南設有客戶支援據點,林口與台南另設工廠。新北市林口工一產業園區的新廠區是 ASML 在台灣最大的投資,新北市政府表示第一期約有 2,000 名員工進駐。
林口新廠規劃擴充光罩傳輸模組、YieldStar 光學量測設備與機台翻修等產能。EUV 與 DUV 曝光機本身仍不在台灣生產。
業務領域:曝光設備(EUV・DUV 微影)
台灣讀者的觀察重點
台灣晶圓廠是 EUV 曝光機的主要使用者之一,ASML 在台的工程師主要負責機台安裝、維護與製程支援。
林口新廠讓台灣從「使用者」延伸到零組件與翻修的製造據點。
主力產品與服務
- •EUV 曝光機
- •DUV 曝光機(ArF 浸潤式・ArF・KrF)
- •量測設備(YieldStar)
- •運算微影軟體
在台據點
台灣總部新竹
2003 年成立
林口據點・新廠區新北市林口區
客戶支援與工廠;林口工一產業園區新廠是在台最大投資
台中・台南據點台中・台南
客戶支援據點,台南另設工廠
所在的科學園區與產業聚落
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