Clean Stocker CLS-50とは
Clean Stocker CLS-50 は、ダイフクの 300mm ファブ向けクリーンルーム自動保管システムです。次の工程を待つ FOUP（ウェーハを入れる容器）を一時的に保管します。
天井搬送システム Cleanway と組み合わせて使います。モジュール設計で、横方向に増設できます。200mm 用の CLS-40 や、小型の Clean Mini Stocker、天井搬送の軌道の脇や下を使う省スペース保管の ZFS もあります。
主な特長
- •300mm FOUP 用の自動保管
- •横方向に増設できるモジュール設計
- •天井搬送 Cleanway と連携
主な仕様
| 保管対象 | FOUP（300 mm） |
|---|---|
| 構成 | モジュール設計（横方向に増設可能） |
| 関連機種 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管） |
| 主要用途 | 前工程の工程間 FOUP 一時保管 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ダイフクClean Stocker CLS-50 | 村田機械（Muratec）クリーンストッカ CDS350-M3 | 村田機械（Muratec）ベアウエハストッカー CDWX |
|---|---|---|---|
| 保管対象 | FOUP（300 mm） | FOUP | ベアウエハ（専用セル） |
| 構成 | モジュール設計（横方向に増設可能） | デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成 | セル単位のオンライン交換に対応 |
| 主要用途 | 前工程の工程間 FOUP 一時保管 | 工程間 FOUP 保管 | ウェーハの高密度保管 |
| 関連機種 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管） | タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ） | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 保管枚数 | — | — | 1,725 ～ 4,325 枚（最大 20,825 枚） |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •前工程の工程間 FOUP 一時保管
掲載カテゴリ
Clean Stocker CLS-50は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ダイフク
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
ストッカーのほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07