倉儲系統（Stocker）是暫時自動存放裝在 FOUP 中之在製品晶圓的設備。半導體前段製程超過 1,000 道工程，從投片到完成需要 2～3 個月，因此製程間經常存在大量等待中的在製品（WIP）。倉儲系統在潔淨環境中存放這些 WIP，在需要時交付給 OHT，發揮緩衝區的功能。
結構由多層儲架與堆垛起重機（可升降、行走的搬運機構）組成，可收納數百～數千個 FOUP。出入庫由 AMHS 控制系統管理，並與 MES 同步哪個 FOUP 位於哪個儲位。它配置在瓶頸設備前後或製程區域的邊界，扮演避免設備稼動率下降的「緩衝材」角色。
存放期間的品質管理也是重要功能。晶圓在製程間等待時，也會暴露於大氣中的水分、有機物、氨等分子汙染（AMC）。為防止這種情況，對每個儲位進行 N₂ 吹淨的吹淨式倉儲系統已經普及，在曝光後的光阻、Cu 導線晶圓等對等待時間敏感的製程中已成為必備設備。
在營運面，存放時間的管理（Q-time 控制）左右品質。在製程間等待時間設有上限的製程（如清洗後到沉積、曝光後到顯影等），超時的晶圓須重新清洗或報廢，因此 MES 會監控倉儲系統內的滯留時間，優先送出即將到期的批次。
主要廠商為大福與村田機械，以與 OHT 一體化的 AMHS 解決方案形式供應。這是晶圓廠的生產規劃與 WIP 管理理念直接反映在設備規格上的領域。