Aleris 9350的特點與規格

Aleris 9350 是科磊的薄膜量測設備。針對先進邏輯、DRAM、3D NAND 的廣泛一般薄膜，以高精度量測膜厚、折射率、應力、組成。

在最新平台上搭載高亮度光源與改良的光學系統，以寬頻光譜橢圓偏光（BBSE）技術，在一般薄膜應用中發揮業界領先的生產力與性能。透過配方移植與設備間匹配功能，支援多種膜層的認證與監控。

另有以低成本量測非關鍵薄膜的 Aleris 8330，以及量測 32nm 以下關鍵薄膜膜厚・折射率・應力的 Aleris 8350。