29xx 系列的 2965 與 2950 EP 是科磊（KLA）使用寬頻電漿照明的圖案化晶圓缺陷檢測設備，可找出邏輯與記憶體中影響良率的缺陷。
以 Super・Pixel 模式等強化的寬頻電漿照明與先進檢測演算法，具備在各種製程層、材料與堆疊中捕捉關鍵缺陷的靈敏度。2965 具備可捕捉奈米片關鍵缺陷的波段，支援 GAA 電晶體的量產爬坡與生產。2950 EP 透過硬體、演算法與缺陷分類的改良，支援 3D NAND 與 DRAM 的缺陷發現與監控。
作為線上監控的業界標準，結合靈敏度與光學檢測的速度，以低持有成本快速完成從缺陷發現到特性分析的流程。