ATL100的特點與規格

ATL100（Accurate Tunable Laser）是科磊（KLA）的散射量測方式疊對（Overlay）量測設備。用於 7nm 以下節點開發與量產中的疊對管理。

結合解析度 1nm 的波長可調雷射技術與即時 Homing 功能，即使製程存在變異，仍能維持高疊對精度。

支援包含晶粒內與小間距在內的多種散射量測用標靶，配合製程層、元件種類、節點與圖形化技術的差異，準確量測疊對誤差。