Archer 750 是科磊(KLA)的影像式疊對(Overlay)量測設備。透過拍攝專用的標靶圖形,量測下層與上層的圖形是否正確疊合。具備波長可調光源,在 7nm 以下的邏輯與先進記憶體節點中,進行準確、對製程變異強健且高生產力的量測。
疊對誤差的量測結果會回饋給曝光機,用於下一片晶圓的曝光補正。隨著多重圖形化與 EUV 的導入,可容許的疊對誤差已縮小到數 nm,量測的精度與取樣數兩者都受到要求。
KLA 的 Archer 系列中,有後繼的 Archer 800(依層別最佳化波長,並以 rAIM 標靶提高與實際元件的相關性)、針對 10nm 以下的 Archer 600 等,也備有散射量測方式的 ATL100,以及針對功率・特殊元件的 Archer Power。