Archer Power的特點與規格

Archer Power 與 Archer Power XT 是科磊（KLA）的疊對誤差與 CD（尺寸）量測設備。支援功率元件、邏輯、記憶體、LED、光子元件、RF、MEMS 等各種晶片。

以高生產力、嚴格的總量測不確定度（TMU）與製程監控指標，在研發、路徑探索（pathfinding）與量產中進行具成本效益的量測。

以廣泛採用、具量產實績的疊對量測平台為基礎打造，支援 150・200・300mm 以及 150／200mm・200／300mm 的橋接架構。可在同一產線上處理厚度不同的晶圓，以及 Si・SiC・GaN・GaAs・玻璃・藍寶石等基板。