39xx 系列是科磊（KLA）使用寬頻電漿光源的圖案化晶圓缺陷檢測設備。以超解析深紫外（SR-DUV）波段、低雜訊感測器與先進演算法，找出邏輯與記憶體的關鍵缺陷。
最新的 3935 與 3920 EP 支援 5nm 以下的邏輯與最先進記憶體節點，支援晶圓層級的缺陷發現、良率學習與線上監控。3935 具備擴充配方設定的 Setup 2.0，以及讓光學檢測機與電子束複檢設備連動、提高低對比層靈敏度的 DualSENS。3920 EP 具備針對 3D NAND 與 DRAM 的演算法與分類功能。
以運用機器學習的 iDO 3.0 等功能抑制擾亂（nuisance）缺陷，並以 MCATx 等檢測演算法捕捉關鍵缺陷。兼顧可用於線上監控的產能與靈敏度，用於缺陷發現、熱點發現、EUV 轉印檢查（print check）與製程窗口探索。