最後更新：2026年10月23日缺陷檢測設備

8935的特點與規格

科磊（KLA）・缺陷檢測設備

以高產出偵測多種缺陷的 8 系列最新機種。支援 150～300mm 的 Si・SiC・GaN・玻璃基板。

目錄5 項

產品概要

8 系列是科磊（KLA）的高生產力圖案化晶圓缺陷檢測設備，以高產出偵測多種缺陷，迅速找出並解決量產中的問題。最新世代為 8935。

在 150・200・300mm 的 Si、SiC、GaN、玻璃等基板上，從產品開發到量產進行具成本效益的缺陷監控。8935 以新的光學技術，以及 DesignWise・FlexPoint 鎖定區域的檢測，捕捉會導致晶片故障的關鍵缺陷。以 DefectWise 的 AI 技術在線上區分缺陷種類。

用於邏輯、記憶體、功率元件、LED、光子學、RF、MEMS 等，從先進到成熟製程的廣泛元件缺陷監控，也用於 AR/VR 用鏡片與 HDD 的品質管理。亦支援現場升級。

方式	高生產力圖案化晶圓檢測
適用基板	150／200／300 mm 的 Si・SiC・GaN・玻璃等
特點	DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI

規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。

高產出缺陷偵測

支援 Si・SiC・GaN・玻璃基板

DesignWise・FlexPoint・DefectWise AI

可現場升級

在台據點