PlasmaSuiteとは
PlasmaSuite は、KLA のプラズマデータ解析システムです。EtchTemp や EtchTemp-SE で集めたデータを使います。
PlasmaView は、プラズマエッチングの工程解析を直感的に見られる表示システムで、工程データを時間と空間（2D・3D）で表示します。動画表示で重要な過渡応答を可視化し、不具合の調査に使えます。
PlasmaControl は日々の運用とチャンバー間のマッチングを監視・管理する解析エンジンです。複雑なプラズマエッチング工程をいくつかの重要な成分にまとめて管理仕様と比べ、各処理に「Go」か「No Go」の判定を出します。傾向の確認、異常の検出と調査、チャンバーの比較ができます。
主な特長
- •工程データの 2D／3D 表示
- •Go／No Go の自動判定
- •チャンバー間比較
主な仕様
| 構成 | PlasmaView（可視化）・PlasmaControl（解析エンジン） |
|---|---|
| 入力データ | EtchTemp・EtchTemp-SE |
| 主要用途 | 日常管理・チャンバー間マッチング |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 浜松ホトニクスプラズマプロセスモニタ C10346-01 | 大塚電子膜厚モニター FE-300F | KLAPlasmaSuite |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | エッチング・クリーニングの終点検出 | 薄膜・厚膜の膜厚管理 | 日常管理・チャンバー間マッチング |
| 測定方式 | プラズマ発光分光 | 分光干渉（紫外域の反射率測定） | — |
| 監視項目 | 終点判定・プラズマ種推定・不純物／異常放電 | 膜厚 10 nm ～ 1.5 mm（最短 0.1 秒） | — |
1機種だけが掲載している項目（2件）
| 構成 | — | — | PlasmaView（可視化）・PlasmaControl（解析エンジン） |
|---|---|---|---|
| 入力データ | — | — | EtchTemp・EtchTemp-SE |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •プラズマエッチングの日常管理
- •チャンバー間マッチング
掲載カテゴリ
PlasmaSuiteは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
プロセスモニター（EPD/OES）のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））CryoTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07