SOLA 是科林研發（Lam Research）的膜處理設備系列。以暴露於紫外線、氣體或蒸氣及熱的獨家處理，改善已沉積薄膜的物理特性。
採用多站序列處理（MSSP）的配置，可獨立控制晶圓通過的各站溫度、波長與強度，因此製程自由度高。
廠商宣稱其膜特性、晶圓內・晶圓間均勻性與生產力達業界最高水準。用於 Low-k 膜處理與應變氮化膜處理，有 SOLA Excel。
SOLA的特點與規格
科林研發（Lam Research）・退火爐
以紫外線・氣體・熱改質成膜後薄膜的科林研發（Lam）處理設備。用於 Low-k 膜與應變氮化膜的處理。
產品概要
主要規格
| 方式 | 以 UV・氣體・熱進行膜處理（多站序列處理） |
|---|---|
| 產品線 | SOLA Excel |
| 主要用途 | Low-k 膜處理・應變氮化膜處理 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以 UV・氣體・熱進行膜改質
各站分別控制溫度・波長・強度
主要用途
- Low-k 膜的處理
- 應變氮化膜的處理
製造商與在台據點
在台據點
- 新竹據點（新竹）：1996 年成立的台灣技術訓練中心
- Lam Research Manufacturing（桃園市中壢區）：2016 年成立的製造子公司與全球翻新中心
- 台南據點（台南）：支援南部客戶的辦公室與訓練教室