最後更新:2026年10月23日CVD 設備

QUIXACE-II的特點與規格

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)・CVD 設備

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)的 300mm 大批次式熱製程設備。以溫度控制・傳送・真空氣體置換・冷卻等核心技術縮短循環時間。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

QUIXACE-II 是國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)適用 300mm 晶圓的大批次式熱製程設備。集結該公司核心技術的溫度控制、自動傳送、真空・氣體置換、冷卻與成膜各項技術,大幅縮短循環時間,實現高產能。

作為薄膜沉積製程設備,用於 CVD 膜・氧化膜的形成;作為處理(膜質改善)設備,用於氧化・擴散・低溫/高溫退火。批次處理能力與該公司產品相比最多為 1.25 倍。

特點是可在深溝槽形狀上均勻成膜,以及在低溫下高精度・高品質成膜,並可選配健康檢查功能。同屬大批次系列的還有最多 1.75 倍的 AdvancedAce-II,以及具備真空負載鎖定室、適用 EPI 的 QUIXACE-LV。

主要規格

適用晶圓尺寸300 mm
方式大批次立式爐管
處理CVD 膜・氧化膜形成,氧化・擴散・退火
特點批次處理量最多 1.25 倍(與該公司產品相比)・深溝槽均勻成膜

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

批次處理量最多 1.25 倍(與該公司產品相比)
在深溝槽形狀上均勻成膜
低溫下高精度・高品質成膜
健康檢查功能(選配)

主要用途

  • CVD 膜・氧化膜的形成
  • 氧化・擴散・退火

製造商與在台據點

在台據點
  • 亞太國際電機(Kokusai Electric Asia Pacific)(新竹):1996 年 9 月成立的台灣子公司

所屬設備分類

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資料來源

  1. 國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)官方產品與服務資訊:KOKUSAI ELECTRIC