Producer Pyra Anneal的特點與規格

Producer Pyra 是應用材料（Applied Materials）退火產品群中新加入的熱處理設備。主要在 MOL／BEOL 領域負責低～中溫的退火。

隨著微縮化，圖案化步驟增加，需要提高多重圖案化膜蝕刻選擇比的處理。在填充高深寬比孔洞的金屬回流中，形成無空洞、大晶粒的金屬以降低導線電阻的處理也很重要。

專為量產中大量的均熱退火而設計，採用實績豐富的 Producer 平台以壓低營運成本。以電阻加熱的加熱器，晶圓內與晶圓間的退火均勻性優異。