クリーンストッカ CDS350-M3とは
クリーンストッカ CDS350-M3 は、村田機械のキャリア（FOUP）保管用のストッカです。2 台のクレーンで出し入れするデュアルクレーンに対応し、コンベヤで複雑なポート構成も組めます。
フロア間の搬送を担うタワーストッカ TW3 や、天井軌道の下に置くバッファ OHB と組み合わせて、工程間の FOUP 保管を行います。
主な特長
- •デュアルクレーン対応
- •コンベヤによる多ポート構成
主な仕様
| 保管対象 | FOUP |
|---|---|
| 構成 | デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成 |
| 関連機種 | タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ） |
| 主要用途 | 工程間 FOUP 保管 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | ダイフクClean Stocker CLS-50 | 村田機械（Muratec）クリーンストッカ CDS350-M3 | 村田機械（Muratec）ベアウエハストッカー CDWX |
|---|---|---|---|
| 保管対象 | FOUP（300 mm） | FOUP | ベアウエハ（専用セル） |
| 構成 | モジュール設計（横方向に増設可能） | デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成 | セル単位のオンライン交換に対応 |
| 主要用途 | 前工程の工程間 FOUP 一時保管 | 工程間 FOUP 保管 | ウェーハの高密度保管 |
| 関連機種 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管） | タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ） | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 保管枚数 | — | — | 1,725 ～ 4,325 枚（最大 20,825 枚） |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •工程間の FOUP 保管
掲載カテゴリ
クリーンストッカ CDS350-M3は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
村田機械（Muratec）
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
ストッカーのほかの製品
村田機械（Muratec）のほかの製品
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07