NC-80MAP的特點與規格

NC-80MAP 是 Napson 以非接觸（渦電流法）量測電阻率・片電阻的半自動量測儀。量測時不接觸樣品，因此能在不造成損傷的情況下進行精密量測。

標準支援 2～8 吋晶圓，選配可支援 12 吋。量測範圍以多種探頭類型合計，電阻率為 1mΩ～200Ω・cm，片電阻為 10mΩ/sq～3kΩ/sq。可用 4 種探頭構成分段量測。

可在距邊緣 8mm 以上的範圍進行多點量測，以程式設定量測圖樣，並以 2D／3D 分布圖軟體將結果視覺化。搭載的探頭數量與種類可依需求變更。