NC-80MAPとは
NC-80MAP は、ナプソンの非接触（渦電流法）による抵抗率・シート抵抗のセミオート測定器です。試料に触れずに測るため、ダメージを与えずに精密な測定ができます。
標準で 2〜8 インチのウェーハに対応し、オプションで 12 インチにも対応します。測定範囲は、複数のプローブタイプの合計で、抵抗率 1mΩ〜200Ω・cm、シート抵抗 10mΩ/sq〜3kΩ/sq です。4 種類のプローブ構成で段階的に測定できます。
エッジから 8mm 以上の範囲で多点測定でき、測定パターンをプログラムで設定して、2D／3D のマッピングソフトで結果を可視化します。搭載するプローブの数や種類は要望に応じて変えられます。
主な特長
- •渦電流法による非接触測定
- •2〜8 インチ（12 インチはオプション）
- •抵抗率 1mΩ〜200Ω・cm、シート抵抗 10mΩ〜3kΩ/sq
- •多点測定・2D／3D マッピング
主な仕様
| 測定方式 | 非接触（渦電流法） |
|---|---|
| 測定項目 | 抵抗率・シート抵抗（2D／3D マップ） |
| 対象工程 | Si・SiC・GaN ウェーハ |
| 主要用途 | 基板の抵抗率検査 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | コベルコ科研SBW シリーズ（平坦度・形状測定装置） | ナプソンNC-80MAP |
|---|---|---|
| 測定方式 | 非接触ラインスキャン | 非接触（渦電流法） |
| 測定項目 | Bow・Warp・GBIR（TTV）・SFQR | 抵抗率・シート抵抗（2D／3D マップ） |
| 対象工程 | スライス・ラップ・エッチ・ポリッシュ後 | Si・SiC・GaN ウェーハ |
| 主要用途 | ウェーハ形状の品質管理 | 基板の抵抗率検査 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •シリコンウェーハ・基板の抵抗率評価
- •導電膜のシート抵抗管理
掲載カテゴリ
NC-80MAPは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ナプソン
抵抗率・シート抵抗測定装置の専業メーカー。四探針法と渦電流を用いた非接触方式の両方を持ち、シリコンウェハやエピウェハ、金属薄膜の抵抗評価に使われる。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-06