SBW 系列是 Kobelco Research Institute 的平坦度・形狀量測設備，以 300mm 晶圓為對象，量測厚度、Bow／Warp（翹曲）與 GBIR（TTV：總厚度變異）。
量測採靜電容方式，可量測晶圓在不真空吸附、以自然狀態保持時的形狀。Bow 定義為晶圓中央相對於參考面的偏離，Warp 定義為中間面相對於參考面偏差的最大值與最小值之差。
可搭載消除晶圓電阻不均所造成量測誤差的 RBC（Resistivity Bias Canceler）選配。另備有晶圓翻轉機構與符合 SECS/GEM 的通訊功能選配。用於嚴格評估晶圓形狀精度的品質管理。