Surfscan SC1的特點與規格

Surfscan SC1 是科磊（KLA）的表面・光致發光（PL）檢測設備。針對無圖案的 SiC、GaN 等化合物半導體晶圓，具備量產所需的最先進靈敏度與產能。

以業界領先的 Surfscan 平台為基礎，找出影響晶片性能與可靠度的缺陷與表面品質問題。用於元件、設備、材料、基板各廠商的設備・製程・材料認證與監控。

以 DUV 雷射在極高產能下獲得對重要缺陷的靈敏度。採用具備暗場、PL、霧度模式的多通道配置，可分辨各種缺陷。