最後更新:2026年10月23日片電阻量測設備

RT-3000/RG-2000的特點與規格

Napson・片電阻量測設備

Napson 以四點探針法在廣範圍量測電阻率與片電阻的半自動量測儀。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

RT-3000/RG-2000 是 Napson 以四點探針法量測電阻率・片電阻的半自動量測儀。廠商表示其作為四點探針法量測儀擁有世界第一的量測範圍。

RT-3000(S) 的量測範圍為電阻率 100µ~1MΩ・cm、片電阻 1m~10MΩ/sq,RT-3000(H) 為片電阻 10m~1GΩ/sq。對應樣品方面,RT-3000/RG-2000 最大 8 吋或 156×156mm,大尺寸對應的 RG-3000 最大 12 吋或 210×210mm。

具備可程式化量測圖形、圓形・方形分布圖軟體與自我測試功能,針對矽具備厚度・邊緣位置・溫度補正功能。除半導體外,也用於太陽能電池材料、奈米碳管與石墨烯等新材料、導電性薄膜、磊晶層與離子佈植樣品的評估。

主要規格

量測方式四點探針法(接觸・半自動)
對應晶圓尺寸~ 8 吋(RG-3000 為 ~ 12 吋)
量測範圍片電阻 1 mΩ/sq ~ 10 MΩ/sq(RT-3000(S))
主要用途Si・多晶 Si・SiC・新材料的電阻率分布圖

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

四點探針法,世界最大等級的量測範圍
最大 8 吋(RG-3000 為 12 吋)
圓形・方形分布圖,厚度・溫度補正

主要用途

  • 矽晶圓・磊晶層・離子佈植層的電阻率評估
  • 導電性薄膜・新材料的評估

製造商

Napson(總部:日本)

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資料來源

  1. Napson 官方產品頁面:RT-3000 RG-2000