CAPRES A301 microRSP的特點與規格

CAPRES A301 microRSP 是科磊的微尺度片電阻量測設備。以傳統四點探針法為基礎，容易從離線測試晶圓上的電阻量測，轉移到產品晶圓上的線上量測。

使用懸臂寬度最小 500nm 的微細加工電極陣列，是首台能以 300mm 產品晶圓切割道尺寸運作的非破壞性電阻量測設備。

以全自動的基本配置量測 300mm 空白晶圓與產品晶圓的片電阻，依配置也可直接量測霍爾遷移率與活性載子濃度。用於薄膜沉積、CMP、蝕刻的線上監控與設備匹配。另有 200mm 用產品。