Filmetrics R54的特點與規格

Filmetrics R54 是科磊的片電阻・導電率分布量測設備。科磊自 1975年推出首台電阻率計以來，投入片電阻量測已超過 45 年，Filmetrics R 系列即以該技術為基礎開發。

以接觸式四點探針法（4PP）與非接觸渦電流法兩種方式，繪製金屬層膜厚、片電阻與片電導的分布圖。在所有使用導電膜的產業中，片電阻監控都很重要，從半導體的金屬膜管理到穿戴式裝置的軟性電子都有使用。

R54 是 R 系列的最新機型，在 R50 的基礎上加入遮光機殼並支援 300mm 晶圓，為半導體與化合物半導體製造提供金屬膜厚量測解決方案。