VR300DH3 是國際電氣（KOKUSAI ELECTRIC）集團以四點探針法量測電阻率・片電阻的全自動量測設備。具備 200mm 晶圓用自動傳送系統。
以探針驅動控制系統，高精度量測矽晶圓或磁性薄板等導電性試樣的電阻率與片電阻。支援極薄膜與極淺離子佈植層的量測，並提供低電阻試樣用量測範圍選配。
具備以配方設定、提高產出量、開放式卡匣型 1 個裝載埠、探針針尖自動調整（選配）、電阻率分布的等高線・3D 分布圖繪製功能，操作畫面符合 SEMI E95。用於矽與多晶矽等材料評估，以及離子佈植・擴散・金屬膜的製程管理。