RT-3000／RG-2000（RG-3000）

4探針法で抵抗率とシート抵抗を広いレンジで測るナプソンのセミオート測定器。

RT-3000／RG-2000とは

RT-3000／RG-2000 は、ナプソンの 4 探針法による抵抗率・シート抵抗のセミオート測定器です。メーカーは 4 探針法の測定器として世界一の測定レンジを持つとしています。

RT-3000(S) の測定範囲は、抵抗率で 100µ〜1MΩ・cm、シート抵抗で 1m〜10MΩ/sq、RT-3000(H) ではシート抵抗 10m〜1GΩ/sq です。対応する試料は RT-3000／RG-2000 で最大 8 インチまたは 156×156mm、大径対応の RG-3000 で最大 12 インチまたは 210×210mm です。

プログラマブルな測定パターン、円型・角型のマッピングソフト、セルフテスト機能を備え、シリコン向けには厚さ・周辺位置・温度の補正機能を持ちます。半導体のほか、太陽電池材料、カーボンナノチューブやグラフェンなどの新素材、導電性薄膜、エピタキシャル層やイオン注入サンプルの評価に使われます。

主な特長

•4 探針法、世界最大級の測定レンジ
•最大 8 インチ（RG-3000 は 12 インチ）
•円型・角型マッピング、厚さ・温度補正

主な仕様

測定方式	4探針法（接触・セミオート）
対応ウェハ径	～ 8 インチ（RG-3000 は～ 12 インチ）
測定範囲	シート抵抗 1 mΩ/sq ～ 10 MΩ/sq（RT-3000(S)）
主要用途	Si・ポリ Si・SiC・新素材の抵抗率マップ

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ナプソンRT-3000／RG-2000（RG-3000）	KLAFilmetrics® R54	Kokusai Electric（国際電気）VR300DH3
測定方式	4探針法（接触・セミオート）	4探針法（接触）／渦電流（非接触）	4探針法（接触・全自動）
主要用途	Si・ポリ Si・SiC・新素材の抵抗率マップ	半導体・化合物半導体の金属膜管理	シリコンウェーハなど導電性試料の抵抗率・シート抵抗
対応ウェハ径	～ 8 インチ（RG-3000 は～ 12 インチ）	300 mm まで	—
測定範囲	シート抵抗 1 mΩ/sq ～ 10 MΩ/sq（RT-3000(S)）	シート抵抗・金属膜厚・シートコンダクタンス	—