MaskTrack Pro 是 SUSS MicroTec 用於光罩清洗・烘烤・顯影的旗艦平台，處理先進產業用微影所需的光罩。
清洗技術包括雙兆音波與高壓全噴流、刷洗、原位（in-situ）SC1／SPM、UV 乾式清洗、超純水製程、背面沖洗，以及防 ESD 選配。
針對 EUV 光罩，推出同步進行光罩清洗・傳送・檢測・保管的 MaskTrack Pro InSync。可與曝光機的 EUV 雙層光罩盒（dual pod）直接連接，在零微粒的環境中一併進行內盒的清洗・傳送・保管，維持光罩進入曝光機真空環境前的潔淨度。