ARTSとは
ARTS は、芝浦メカトロニクスの枚葉式フォトマスク洗浄装置です。MC-150 シリーズとともに、次世代の EUV フォトマスクからレガシー品まで対応します。
高温の薬液、薬液メガソニック、UV、純水を使ってマスクを洗い、マスクにダメージを与えない凍結洗浄も搭載できます。6025 サイズのフォトマスクに対応し、金属を使わない構造です。
主な特長
- •枚葉式のフォトマスク洗浄
- •凍結洗浄（ダメージレス）を搭載可能
- •EUV マスクからレガシー品まで対応
主な仕様
| 洗浄方式 | 高温薬液・薬液メガソニック・凍結洗浄（ダメージレス） |
|---|---|
| 対応マスク | 6025 フォトマスク |
| 特徴 | メタルフリー構造 |
| 主要用途 | フォトマスクの微小異物除去 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | Suss MicroTecMaskTrack Pro | 芝浦メカトロニクスARTS®（MC-150 シリーズ） | Applied MaterialsSigmameltec MRC Mask Clean Series |
|---|---|---|---|
| 洗浄方式 | デュアルメガソニック・高圧ジェット・ブラシ・SC1/SPM・UV ドライ洗浄 | 高温薬液・薬液メガソニック・凍結洗浄（ダメージレス） | ダウンストリームプラズマ＋ウェット 2 室 |
| 特徴 | ISO 14644 Class 2 環境・SECS/GEM 対応 | メタルフリー構造 | 硫酸塩フリー・低アンモニウムでヘイズを抑制 |
| 対応マスク | 193i・EUV・NIL マスク | 6025 フォトマスク | — |
| 主要用途 | 先端フォトマスクの洗浄 | フォトマスクの微小異物除去 | — |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 使用薬液 | — | — | オゾン水・CO₂ 水・SPM・SC-1 など |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •フォトマスクの微小異物除去
- •EUV マスクの洗浄
掲載カテゴリ
ARTSは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
芝浦メカトロニクス
東芝グループの半導体・FPD製造装置メーカー。枚葉式の洗浄装置やスピンプロセッサ、ドライエッチング装置、成膜装置などを手掛ける。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07