最後更新:2026年10月23日混合鍵合設備

XBC300 Gen2 D2W的特點與規格

SUSS MicroTec・混合鍵合設備

同時對應晶粒對晶圓與晶圓對晶圓混合鍵合的 SUSS 平台。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

XBC300 Gen2 D2W 是 SUSS MicroTec 的晶粒對晶圓(D2W)混合鍵合設備。對 200mm 與 300mm 基板進行逐顆接合晶粒的循序接合(sequential bonding)。

對準精度為 ±100nm,可實現先進 3D IC 與 HBM 的應用。處理能力最高每小時 1,000 顆晶粒,晶粒尺寸從 1×1mm 到 22×22mm,也能處理最薄 30µm 的極薄晶片。晶粒間距小於 40µm,可高密度配置。

這是整合表面活化、晶粒定位、清洗與量測的全自動平台,具備全面 IR 疊對量測與孔洞檢測的即時(in-situ)量測。占地面積比同級設備最多小 40%。由 SET Corporation 的 NEO HB 覆晶接合平台與 SUSS 的模組組合共同開發,適合研發產線與少量生產。

主要規格

接合方式D2W/W2W 混合鍵合
組成整合鍵合機與前處理的平台
主要用途小晶片(Chiplet)・3D 整合

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

D2W 混合鍵合、對準 ±100nm
最高每小時 1,000 顆晶粒、晶粒 1×1~22×22mm
30µm 極薄晶片、晶粒間距小於 40µm
占地面積最多減少 40%、IR 疊對・孔洞檢測

主要用途

  • 3D IC・HBM 的研發
  • 少量生產的先進封裝

製造商

SUSS MicroTec(總部:德國)

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資料來源

  1. SUSS MicroTec 官方產品頁面:SUSS XBC300 Gen2 D2W