氣瓶櫃（Gas Cabinet）是收納半導體工廠所用之毒性、可燃性、腐蝕性特殊氣體鋼瓶（cylinder），並將氣體安全供應至製造設備的專用箱型設施。由於處理的是矽烷（SiH₄）、砷化氫（AsH₃）、磷化氫（PH₃）、氯（Cl₂）、三氟化氮（NF₃）等一旦洩漏便危及人命與設施的氣體，其結構是將鋼瓶周圍包覆並持續排氣，以便在萬一洩漏時將氣體封閉在內。
氣瓶櫃內整合了降低鋼瓶壓力的減壓閥、停止供氣的遮斷閥、以惰性氣體置換管路內氣體的吹淨（purge）機構，以及壓力計、過濾器等。更換鋼瓶時，控制器會自動執行以下步驟：先以氮氣置換管路中殘留的氣體再拆下鋼瓶，接上新鋼瓶後確認無洩漏，再恢復供氣。櫃內連接排氣風管，經常維持負壓，氣體偵測器一旦偵測到洩漏，緊急遮斷閥便會關閉以停止供氣並發出警報。也具備偵測到地震時自動遮斷的功能。
從氣瓶櫃送出的氣體，經管路在閥箱（VMB）等處分流，再送至各設備的氣體箱（gas box）。大量使用的氮氣等氣體由大型儲槽或產生設備供應，但特殊氣體以鋼瓶為單位處理，因此氣瓶櫃是供氣的起點。設置與運轉需遵循日本《高壓氣體保安法》等法規，以及SEMI S2等安全準則。