キヤノンアネルバ
キヤノングループの真空成膜装置メーカー。スパッタリング装置を中心に、半導体・磁気デバイス（HDDヘッド・MRAM）向けの多層成膜装置や真空コンポーネントを製造。2005年にキヤノンがアネルバを取得して現社名に。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiのスパッタリング装置カテゴリでは、半導体・磁気デバイス向けの多層膜スパッタリング装置メーカーとして参照されます。
企業の強み
創業以来のコア技術であるスパッタリングによる真空薄膜形成
メタルゲートやMRAMの磁気トンネル接合などの多層膜成膜
研究用から300mmウェハ量産用まで対応する装置構成
主要製品・ソリューション
スパッタリング装置
- •FC7100（メタルゲート形成用）
- •多層膜成膜装置
真空コンポーネント
- •真空計
- •真空部品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、キヤノンアネルバを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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