コフロック
京都府の流体計測制御機器メーカー。マスフローコントローラ・メータ、面積式・電子式・超音波式の流量計、流体制御バルブ、窒素・酸素・オゾンのガス発生装置などを製造。
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当サイトでの位置づけ
Semiraiのマスフローコントローラカテゴリでは、CVD・エッチング装置のガス流量制御を担う国内の流量計メーカーとして参照されます。
企業の強み
半導体製造工程のガスの精密微少流量の計測・制御
面積式から電子式・超音波式まで幅広い流量計
窒素・酸素・オゾンのガス発生装置
主要製品・ソリューション
流量計測制御
- •マスフローコントローラ
- •マスフローメータ
- •流体制御バルブ
ガス発生装置
- •窒素ガス発生装置
- •酸素ガス発生装置
- •オゾンガス発生装置
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、コフロックを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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