Mipox

塗布技術を核とする研磨材メーカー。精密研磨フィルムを自社開発し、ウェハのエッジ・ベベル研磨装置や各種研磨装置と組み合わせて供給する。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の研磨関連カテゴリでは、研磨フィルムという消耗材と研磨装置の両方を持つメーカーとして位置づけられます。ウェハのベベル（外周）研磨など局所工程で使われます。

企業の強み

研磨フィルムの自社塗工技術

消耗材と装置を一体で提案できる体制

ウェハ外周・ノッチなど局所研磨への対応

主要製品・ソリューション

研磨材

•精密研磨フィルム
•研磨スラリー

研磨装置

•ベベル研磨装置
•精密研磨装置

関連装置カテゴリ

ウェハ研磨装置（ベベル研磨）

ウェハ研磨・面取り装置は、スライス直後のウェハ表面を鏡面化し、エッジを整える仕上げ工程の装置群です。

メーカー 8 社消耗部品・消耗材

消耗部品・部品洗浄/再生は、プラズマやガスにさらされて徐々に劣化する装置内部品と、それらを再利用するためのサービス領域です。

メーカー 7 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、Mipoxを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

ベベル（面取り・エッジプロファイル）とは→オリフラ・ノッチとは→研磨パッド（CMPパッド）とは→ラッピング（遊離砥粒研磨）とは→シリコンウェハ製造（ウェハプロセス）とは→

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