当サイトでの位置づけ
SemiraiのMOCVD・ALD成膜カテゴリでは、LED・パワーデバイス・先端ロジック向け薄膜エピタキシャル成長装置として参照されます。
企業の強み
MOCVD装置でグローバルトップシェア
MBE・ALDを含む多様な薄膜成長技術ポートフォリオ
化合物半導体・LEDプロセスへの深い専門性
主要製品・ソリューション
MOCVD装置
- •EPIK
- •TurboDisc
MBE装置
- •GENxcelシリーズ
ALD装置
- •Fiji
- •Fiji G2
関連装置カテゴリ
関連用語
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