Plasma-Therm Japan
化合物半導体・MEMS・先端パッケージング向けのドライエッチング・PECVD装置を専門とする米 Plasma-Therm の日本法人。R&D および中小量産向けで存在感。
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当サイトでの位置づけ
化合物半導体・MEMS・先端パッケージング向けドライエッチングカテゴリで、中小量産・R&D 向けの専用プラットフォームを提供する企業として参照されます。
企業の強み
化合物半導体（GaN・SiC）・MEMS 向けドライエッチング専門
R&D および中小量産プラットフォームに強み
先端パッケージング向けディープエッチング技術
主要製品・ソリューション
ドライエッチング装置
- •Versaline ICP
- •Versaline DSE
成膜装置
- •Versaline PECVD
Plasma-Therm Japanの製品
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