サムコ（SAMCO）
プラズマエッチング・CVD・表面処理装置の専業メーカー。化合物半導体（GaN・SiC・GaAs）やMEMS・パワー・光デバイス向けの薄膜・微細加工プロセスに強みを持つ。
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当サイトでの位置づけ
Semirai では、プラズマエッチング・CVD・表面処理を化合物半導体やMEMS向けに供給するプロセス装置メーカーとして位置づけられます。
企業の強み
化合物半導体・MEMS向けプロセス装置に強み
エッチング・CVD・表面処理を一貫提供
研究開発から量産まで対応する装置ラインナップ
主要製品・ソリューション
プロセス装置
- •プラズマエッチング装置
- •プラズマCVD装置
- •表面処理（プラズマクリーナ）
サムコ（SAMCO）の製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、サムコ（SAMCO）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
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