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芝浦メカトロニクス

東芝グループの半導体・FPD製造装置メーカー。枚葉式の洗浄装置やスピンプロセッサ、ドライエッチング装置、成膜装置などを手掛ける。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の前工程装置カテゴリでは、エッチング・洗浄・スピンプロセスを担う装置メーカーとして、パターン形成と表面処理の歩留まりを支える立場にあります。

企業の強み

枚葉式洗浄・スピンプロセス装置に強み
半導体とFPDの両分野で装置を展開
エッチング・成膜まで幅広い前工程対応

主要製品・ソリューション

前工程装置

  • 枚葉式洗浄装置
  • スピンプロセッサ
  • ドライエッチング装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、芝浦メカトロニクスを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

洗浄とは →枚葉式洗浄(シングルウェハ洗浄)とは →エッチングとは →ドライエッチングとは →
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