当サイトでの位置づけ
Semirai の前工程装置カテゴリでは、エッチング・洗浄・スピンプロセスを担う装置メーカーとして、パターン形成と表面処理の歩留まりを支える立場にあります。
企業の強み
枚葉式洗浄・スピンプロセス装置に強み
半導体とFPDの両分野で装置を展開
エッチング・成膜まで幅広い前工程対応
主要製品・ソリューション
前工程装置
- •枚葉式洗浄装置
- •スピンプロセッサ
- •ドライエッチング装置
芝浦メカトロニクスの製品
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、芝浦メカトロニクスを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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