GLOSSARY

ダイボンディング(ダイアタッチ)とは

Die Bonding / Die Attach
最終更新:2026-07-07ダイボンダー

定義・解説

ダイボンディング(Die Bonding、ダイアタッチとも呼ばれる)は、ウェハからダイシングで切り出した個々のダイ(チップ)を、リードフレームや基板・ウェハ上の所定位置に固定する後工程の実装工程である。ダイボンダーと呼ばれる専用装置を用い、真空コレット(吸着ツール)でダイをピックアップし、位置決めして接合材料上に搭載する。

接合方式には、エポキシ系接着剤(ダイアタッチフィルム・ペースト)を使う樹脂接着、金属を用いた共晶接合(AuSi・AuSn)・はんだ接合、そして先端パッケージ向けのハイブリッドボンディング(Cu-Cu直接接合)まで多様な手法がある。用途に応じて放熱性・電気伝導性・信頼性の要求が異なるため、接合材料の選定が重要になる。

先端パッケージング向けダイボンダーでは、位置合わせ精度が±1μm以下、フリップチップ実装では熱圧着(TCB:Thermo-Compression Bonding)による高精度搭載が求められる。3D NAND・HBMの多段積層や、チップレット実装の普及に伴い、ダイボンディングの高速化・高精度化・接合材料の多様化が同時に進んでいる。

主要装置メーカーはASMパシフィックテクノロジー(ASMPT)・Besi(旧Datacon)で、日本では新川・キヤノンマシナリーなどが手掛ける。パッケージの種類・用途ごとに最適な接合方式と装置を選定することが、歩留まりと信頼性を左右する。

設備の製造メーカー

ASMPT香港

SMT(表面実装技術)と半導体パッケージング装置の世界的メーカー。先端パッケージングからSMT製造まで包括的な…

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Besiオランダ

オランダを拠点とする半導体組立装置の世界的リーダー。ダイアタッチ装置で42%の市場シェアを持ち、ハイブリッドボ…

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新川日本

日本を代表するワイヤーボンディング装置メーカー。高精度・高速ボンディング技術で、パワー半導体やLEDパッケージ…

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