最終更新 2026-10-10

モールディング装置とは(封止装置)

Molding Equipment
目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 製造工程フローでの位置
  3. 図解
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

モールディング装置(封止装置)は、半導体チップをエポキシモールドコンパウンド(EMC)で封止し、外部環境から保護するパッケージング工程を担う後工程装置である。成形方式によりトランスファーモールド装置とコンプレッションモールド装置に大別され、パッケージ形式・生産規模・薄型化要求に応じて使い分けられる。

装置内部では、樹脂の予熱・計量、金型内への充填、加圧・硬化、脱型・バリ取りまでの一連の工程が自動化されている。金型の温度均一性・樹脂流動のシミュレーション精度・脱型時の応力制御が、パッケージの反り・ボイド・信頼性を左右する重要な技術要素である。

先端パッケージング(FOWLP・FOPLP)向けにはウェハ・パネル全面を一括処理できる大型コンプレッションモールド装置への需要が拡大している一方、QFP・QFN・BGAなど汎用パッケージの量産ラインでは実績豊富なトランスファーモールド装置が引き続き主力である。

世界市場ではTOWA・Apic Yamada(アピック山田製作所)の日本2社が高いシェアを持ち、ASE・Amkorなど大手OSATの後工程ラインに広く導入されている。

製造工程フローでの位置

モールディング装置(封止装置)は全21ステップのうち STEP 20 にあたります(青枠)。

前工程(ウェハプロセス)後工程(組立・実装・テスト)01シリコンウェハの準備02エピタキシャル成長03↻洗浄04熱酸化05↻成膜06↻レジスト塗布07↻露光(リソグラフィ)08↻エッチング09↻アッシング(レジスト除去)10イオン注入11アニール(活性化熱処理)12↻CMP(平坦化)13↻配線形成(ダマシン)14↻ウェハ検査・計測15ウェハテスト(プロービング)16ウェハ薄化(裏面研削)17ダイシング18ダイボンディング19ワイヤボンディング20モールディング(封止)21最終テスト
↻ は配線などの層の数だけ繰り返す工程です。各工程をクリックすると用語解説へ進みます。

図解

モールディング装置(封止装置)のトランスファー方式とコンプレッション方式の比較
TOWAなど日本のメーカーが強い分野。

設備の製造メーカー

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出典・参考資料

  1. SCREENセミコンダクターソリューションズ「初心者のための半導体入門:モールディング」(2026/10/10 確認)