法定耐用年数とは、減価償却資産を何年かけて費用にしていくかについて、税法（減価償却資産の耐用年数等に関する省令）で資産の種類ごとに定められた年数です。購入した製造装置は、この年数にわたって減価償却します。機械及び装置は、その設備を使って営む業種ごとの区分（別表第二）で年数が決まります。
半導体製造装置の場合、別表第二の「電子部品、デバイス又は電子回路製造業用設備」のうち「フラットパネルディスプレイ、半導体集積回路又は半導体素子製造設備」に当たり、耐用年数は5年とされています。同じ区分の「その他の設備」は8年、「プリント配線基板製造設備」は6年です。
中古の資産を取得した場合は、法定耐用年数ではなく、使い始めてからの使用可能期間を見積もった年数を使うことができます。見積もりが難しい場合は簡便法を使い、法定耐用年数を全部経過した資産は法定耐用年数の20%、一部経過した資産は「法定耐用年数－経過年数＋経過年数×20%」で計算します（1年未満は切り捨て、2年未満なら2年）。ただし、取得後の改良などに取得価額の50%を超える支出をした場合は簡便法を使えないなどの条件があります。
