ガス精製器（ガスパーティファイア）とガスフィルタは、装置直前でプロセスガス中の不純物とパーティクルを最終的に取り除く部品です。ボンベやバルクラインから供給されるガスは高純度でも、配管・継手からの水分放出や微量の酸素混入が避けられないため、使用点（POU：Point of Use）での最終精製がプロセス品質を守る最後の砦になります。
精製の対象は主に水分（H₂O）・酸素（O₂）・CO/CO₂・金属です。ゲッター材（金属合金）による化学吸着や、モレキュラーシーブ・触媒による除去で、ppb〜pptレベルまで低減します。特に高純度が要求されるのは、エピタキシャル成長・高k絶縁膜のALD・エッチングの選択比制御など、微量の酸素や水分が界面特性を大きく変えてしまう工程です。
ガスフィルタは、配管内で発生する粒子や析出物を捕捉します。PTFE膜やニッケル焼結体などのフィルタ素子で、数nmクラスの粒子を高い効率で除去し、ウェハ欠陥の原因を上流で断ちます。フィルタ自体が発塵源にならないよう、素材選定とクリーン化処理が重視されます。
運用上は、精製器の破過（吸着容量の飽和）とフィルタの差圧上昇が交換の判断基準です。破過を過ぎた精製器はむしろ不純物を放出する側に回るため、使用量に基づく寿命管理と、下流での水分・酸素濃度のモニタリングが行われます。交換時には配管を大気に晒すため、再パージの手順が品質を左右します。
供給はEntegris・Air Liquide・大陽日酸などガス・材料系の企業が中心で、特殊ガスのサプライチェーンと一体で提供されます。ガスコストそのものより、不純物起因の歩留まり損失のほうが圧倒的に大きいため、投資対効果の観点で優先度の高い部品です。
