ガス検知システムメーカー4社
ガス検知システムは、半導体工場で使う可燃性・毒性ガスの漏洩を検知し、警報と緊急遮断につなげる安全設備です。シラン（自然発火性）、アルシン・ホスフィン（高毒性）、塩素・フッ素系（腐食性）など、扱うガスの危険性は多岐にわたり、それぞれに適した検知原理（定電位電解式、半導体式、赤外式など）を選びます。ppbレベルの許容濃度を持つガスもあるため検知感度は高く、同時に誤警報でラインを止めないための選択性も要求される、安全と生産性が拮抗する設備です。
メーカー 4 社関連カテゴリ 2 件
主要特徴
可燃性・毒性ガスの漏洩を検知し警報と緊急遮断につなげる
ガスの危険性に応じて検知原理を使い分ける
ppbレベルの許容濃度に対応する高い検知感度が要る
誤警報でラインを止めない選択性も同時に要求される
メーカー
4社の主要メーカー
堀場製作所日本
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
分析・計測装置
ガス分析計パーティクルカウンタ分光エリプソメータ
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
理研計器日本
1939年に理化学研究所で発明された光波干渉式可燃性ガス検知器の量産化を目的に設立された。産業用ガス検知警報機器と各種ガスセンサを独自に開発し、ガス検知・環境測定製品を約100種類展開する。
ガス検知
定置式ガス検知警報器携帯用ガス検知器ガスセンサ
環境測定
酸欠防止用酸素計環境測定機器
- •産業用ガス検知警報機器の長い開発実績
- •ガスセンサを自社開発
新コスモス電機日本
ガス警報器・ガス検知器の専門メーカー。独自のガスセンサ技術をもとに、家庭用ガス警報器、工業用定置式ガス検知警報器、携帯用ガス検知器、ニオイセンサ、空気質測定器を展開し、SEMICON Taiwan など半導体関連の展示会にも出展している。
産業用ガス検知
工業用定置式ガス検知警報器携帯用ガス検知器
センサ・計測
ガスセンサニオイセンサ空気質測定器
- •ガスセンサを自社で開発する技術基盤
- •工業用定置式と携帯用の両方の検知器
光明理化学工業日本
北川式ガス検知管を中心とするガス測定機器メーカー。検知管・ケミカル製品に加え、装着形・携帯形ガス測定器、定置形ガス検知警報器、ガスセンサーを製造する。
ガス測定
北川式ガス検知管装着形・携帯形ガス測定器定置形ガス検知警報器
センサ
ガスセンサー
- •北川式ガス検知管の実績
- •検知管から定置形警報器までの測定手段