CryoTempとは
CryoTemp は、KLA の 300mm その場（in situ）ウェーハ温度計測システムです。実際の真空の工程条件のもとで、ドライエッチングの工程を評価・監視します。
静電チャック（ESC）の温度プロファイルの校正、均一性の改善、マッチングのために設計され、プラズマエッチングチャンバーの評価と管理を速めます。21 個のセンサーを持ち、精度は 0.5℃、動作範囲は −40〜30℃ です。
自動化にも対応し、チャンバーの停止時間と技術者の工数を減らします。なお、プラズマを点けた状態での使用は想定していませんが、チャンバー内でチャック・デチャックはできます。
主な特長
- •−40〜30℃ の低温域
- •21 センサー・精度 0.5℃
- •自動化対応
主な仕様
| 測定範囲 | −40〜30℃ |
|---|---|
| センサー | 21 個・精度 0.5℃ |
| 主要用途 | 静電チャックの温度校正・均一化・マッチング |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 安立計器工業熱電対付きシリコンウェーハ AW シリーズ | 坂口電熱熱電対（T/C）付ウェハー | KLAEtchTemp™ シリーズ | KLAHighTemp™ シリーズ | KLACryoTemp™ | KLAWetTemp™ シリーズ | KLASmartwafer2™ | KLAScannerTemp™ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 主要用途 | レジスト装置ステージなどの温度分布測定 | 製造装置の温度分布測定 | 誘電体・導体プラズマエッチングの温度評価 | ALD・CVD・PVD などの高温工程 | 静電チャックの温度校正・均一化・マッチング | — | 搬送系の機械的不良・アライメントずれの特定 | — |
| 測定範囲 | — | — | 20〜140℃ | 20〜500℃ | −40〜30℃ | 15〜140℃ | — | 20〜24℃ |
| 対応ウェハ径 | — | — | 300／200 mm | 300／200 mm | — | 300／200 mm | — | — |
| 測定項目 | 温度（K 熱電対） | 温度（熱電対） | — | — | — | — | — | — |
| センサー | — | — | — | — | 21 個・精度 0.5℃ | 65 個（同心円状に配置） | — | — |
| 形状 | — | — | — | — | — | — | 標準の 300mm シリコンウェーハ | 平坦な標準厚さのウェーハ |
1機種だけが掲載している項目（3件）
| 使用温度 | 0 ～ 500 ℃ | — | — | — | — | — | — | — |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | — | — | — | — | — | 振動・加速度を記録するウェーハ型モニター | — |
| 対象 | — | — | — | — | — | — | — | ドライ・液浸・EUV 露光装置 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •静電チャックの温度校正
- •低温エッチングチャンバーの評価
掲載カテゴリ
CryoTempは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
センサウェハ（T/C付ウェハ）のほかの製品
KLAのほかの製品
Surfscan® SP7XP（ウェハ検査装置）Teron™ 6xx シリーズ（マスク検査装置）Puma™ 9980（欠陥検査装置）Candela® 8520（結晶欠陥検査装置）eSL10™（電子線（EB）検査装置）39xx シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Archer™ 750（オーバーレイ計測装置）SpectraFilm™ F10（膜厚計測装置）Therma-Probe® 680XP（イオン注入量測定装置）SpectraShape™ 12k（光学式寸法測定装置（OCD））Filmetrics® R54（シート抵抗測定装置）Tencor® P-17（段差・表面粗さ測定装置）CIRCL™（マクロ検査装置）Therma-Probe® 780（イオン注入量測定装置）ATL100™（オーバーレイ計測装置）Archer™ Power（オーバーレイ計測装置）Axion® T2000（光学式寸法測定装置（OCD））Aleris® 9350（膜厚計測装置）PWG5™（平坦度・ウェハ厚測定装置）CAPRES A301 microRSP®（シート抵抗測定装置）CAPRES CIPTech®（シート抵抗測定装置）MicroSense® PKMRAM（膜組成分析装置（XRF/FTIR））MicroSense® KerrMapper（膜組成分析装置（XRF/FTIR））29xx シリーズ（2965／2950 EP）（光学式ウェーハ検査装置）C30x シリーズ（光学式ウェーハ検査装置）Voyager® 1035（欠陥検査装置）8935（8 シリーズ）（欠陥検査装置）Micro-SR™（レビューSEM）Castor™（光学式ウェーハ検査装置）eDRX1™（レビューSEM）eDR7380™（レビューSEM）EtchTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））HighTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））WetTemp™ シリーズ（センサウェハ（T/C付ウェハ））Smartwafer2™（センサウェハ（T/C付ウェハ））ScannerTemp™（センサウェハ（T/C付ウェハ））PlasmaSuite（プロセスモニター（EPD/OES））Surfscan® SC1（ウェハ基板検査装置）Candela® 8720（結晶欠陥検査装置）Candela® 8420（結晶欠陥検査装置）WaferSight™ 2+（ウェハ基板検査装置）Kronos™ 1190XR（ウェハレベルパッケージング）irArcher® 007（ハイブリッドボンディング装置）Zeta™-5xx／6xx シリーズ（段差・表面粗さ測定装置）SPTS Osprey® PECVD（TSV形成装置）SPTS Sigma® PVD（PVD装置）SPTS Delta™ PECVD（PECVD（プラズマCVD））SPTS Omega® Rapier™（MEMS）SPTS Mosaic™ プラズマダイシング（ダイシングソー）Primaxx® Monarch 300（MEMS）Xactix® X4（MEMS）MVD300®（MEMS）ICOS™ F260（最終テスト装置）ICOS™ T3／T7（最終テスト装置）Quali-Line® Prima® 2（薬液供給システム）QualiSurf®（薬液供給システム）
関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07