FluoroPure 容器／Sentry クイックコネクトとは
FluoroPure と Sentry は、高純度の薬液を汚さずに保管・搬送・接続するための Entegris の製品です。FluoroPure はフッ素樹脂の容器や中間バルク容器、Sentry はクイックコネクトです。
薬液の純度を保ったまま、バルクで工場へ届けて装置へつなぐ用途に使われます。
主な特長
- •フッ素樹脂容器（FluoroPure）
- •クイックコネクト（Sentry）
- •中間バルク容器
主な仕様
| 供給対象 | 高純度液体薬液 |
|---|---|
| 構成 | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト |
| 主要用途 | バルク薬液の汚染なき供給 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | エア・ウォーター特殊ケミカル供給装置 | EntegrisFluoroPure® 容器／Sentry® クイックコネクト | KLAQuali-Line® Prima® 2 | KLAQualiSurf® |
|---|---|---|---|---|
| 主要用途 | 成膜装置等への高純度ケミカル供給 | バルク薬液の汚染なき供給 | 先端ノードの Cu めっき | — |
| 供給対象 | 特殊ケミカル（毒性・可燃・腐食性材料を含む） | 高純度液体薬液 | — | — |
| 構成 | 供給装置・蒸気量制御用の恒温槽ほか | フッ素樹脂容器・中間バルク容器・クイックコネクト | — | — |
| 方式 | — | — | オンライン薬液分析・管理 | オンライン薬液監視（15 以上の分析法） |
| 対象 | — | — | 銅ダマシンめっき液（低・超低・高 Cu 濃度） | FEOL・MOL・BEOL のウェットエッチング・洗浄 |
1機種だけが掲載している項目（1件）
| 特徴 | — | — | — | 自動校正・検証・自己診断 |
|---|
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •高純度薬液のバルク供給
掲載カテゴリ
FluoroPure 容器／Sentry クイックコネクトは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Entegris
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07