真空計・圧力コントローラメーカー7社
真空計・圧力コントローラは、チャンバ内の圧力を測定し、目標値へ制御するための部品群です。大気圧から10⁻⁸Paまでを1種類の原理でカバーすることはできず、隔膜式のキャパシタンスマノメータ、熱伝導を利用するピラニ真空計、電離を利用する電離真空計を圧力域で使い分けます。測定値をもとにスロットルバルブの開度を調整して圧力を一定に保つのが圧力コントローラの役割で、エッチングレートや成膜速度は圧力に強く依存するため、この安定性がプロセス再現性を直接支えます。
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主要特徴
圧力域ごとに隔膜式・ピラニ・電離真空計を使い分ける
キャパシタンスマノメータはガス種に依存せず絶対圧を測れる
スロットルバルブ開度を調整して圧力を一定に保つ
エッチングレート・成膜速度は圧力依存のため安定性が重要
メーカー
7社の主要メーカー
MKS Instruments米国
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
ガス制御機器
マスフローコントローラ圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
RFジェネレータマッチングネットワーク
計測・光学
Newport光学部品レーザー光源
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
Pfeiffer Vacuumドイツ
半導体製造装置向け真空ポンプ・計測機器の世界的リーダー。ターボ分子ポンプ・スクロールポンプ・ドライポンプなど幅広い製品ラインでALD・CVD・PVD・エッチング装置の真空環境を支える。
ターボ分子ポンプ
HiPace series
ドライ真空ポンプ
ACP seriesMVP series
真空計・リークディテクター
PKR/PPR series
- •ターボ分子ポンプで世界最大手クラス
- •クリーンドライポンプによる汚染防止
ULVAC（アルバック）日本
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
PVD装置
スパッタリングシステム蒸着装置
CVD装置
プラズマCVD熱CVD
真空ポンプ
ターボ分子ポンプドライポンプ
- •真空ポンプからプロセス装置まで一貫した垂直統合
- •スパッタリング装置で国内トップクラス
堀場製作所日本
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
分析・計測装置
ガス分析計パーティクルカウンタ分光エリプソメータ
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
ライボルト（Leybold）ドイツ
170年以上の歴史を持つ真空技術メーカー。ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、真空計、リークディテクタまで真空系を一通り揃える。Atlas Copcoグループ。
真空ポンプ
ドライ真空ポンプターボ分子ポンプクライオポンプ
真空計測
真空計リークディテクタ
- •ドライ・ターボ・クライオの全方式を持つ
- •真空計とリークディテクタまで自社製
大亜真空日本
真空計測器と真空装置の製造・メンテナンスを手掛ける。真空計や真空部品の供給に加え、装置の改造・保守まで請け負う。
真空計測
真空計真空計コントローラ
真空機器
真空部品真空装置
サービス
真空装置のメンテナンス・改造
- •真空計測器の製造とメンテナンスを自社で
- •真空装置の設計・改造にも対応
伯東日本
エレクトロニクス商社とケミカルメーカーの複合企業。半導体製造装置と装置部品の輸入販売に加え、水処理薬品などの自社製品も持つ。
電子・装置
半導体製造装置真空計測器装置部品
ケミカル
水処理薬品電子材料
- •半導体製造装置・部品の輸入販売で長い実績
- •ケミカルメーカーとしての自社製品