CCMT-D シリーズとは
CCMT-D シリーズは、アルバックのキャパシタンスマノメーター（隔膜真空計）です。セラミックを一体構造にした隔膜で圧力を測ります。
セラミックの膜で腐食に強く、温度補償の回路を内蔵しています。測定範囲の異なる CCMT-1D／10D／100D／1000D があり、成膜装置や真空炉の圧力監視に使われます。
主な特長
- •セラミック一体構造の隔膜
- •耐食性・温度補償回路内蔵
- •1D〜1000D のレンジ
主な仕様
| 測定方式 | セラミックキャパシタンスマノメーター |
|---|---|
| 測定範囲 | CCMT-1D ／10D／100D／1000D |
| 特徴 | セラミック膜で耐食性・温度補償回路内蔵 |
| 主要用途 | 成膜装置・真空炉の圧力モニタ |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | MKS InstrumentsBaratron® 627H | ULVAC（アルバック）CCMT-D シリーズ |
|---|---|---|
| 測定方式 | キャパシタンスマノメーター（45 ℃加温） | セラミックキャパシタンスマノメーター |
| 測定範囲 | フルスケール 0.02 ～ 25,000 Torr | CCMT-1D ／10D／100D／1000D |
| 特徴 | 精度 0.12% of Reading・接ガス部インコネル | セラミック膜で耐食性・温度補償回路内蔵 |
| 主要用途 | プロセスチャンバーの圧力測定 | 成膜装置・真空炉の圧力モニタ |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •成膜装置・真空炉の圧力モニタ
掲載カテゴリ
CCMT-D シリーズは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
ULVAC（アルバック）
真空技術を核に、スパッタ・CVD・蒸着・エッチング・測定装置を手がける日本の総合真空機器メーカー。半導体に加えFPD・太陽電池にも展開。
真空計・圧力コントローラのほかの製品
ULVAC（アルバック）のほかの製品
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07